微影投射设备、气体洗涤方法、装置制造方法及洗涤气体的供应系统

摘要

一种微影投射设备，其包括：一个支撑件，其被建构来支撑一个图案成形装置(patterning device)，该图案成形装置则被建构以依据一个想要的图案而使一道投射光束形成图案。该设备具有一个基板平台(substrate table)与一个投射系统，该基板平台被建构成托住一个基板，而该投射系统则被建构成投射被图案成形过的光束到该基板的目标区域之上。该装置也具有一种洗涤气体供应系统，其被建构来将一种洗涤气体提供到靠近该微影投射设备的一个组件的表面。该洗涤气体供应系统包括：一个洗涤气体混合物产生器，其被建构来产生一种洗涤气体混合物，其包括至少一种洗涤气体与雾气。该洗涤气体混合物产生器具有：一个雾化器(moisturizer)，而该雾化器则被建构来将雾气加入到该洗涤气体中、以及一个洗涤气体混合物出口，而该洗涤气体混合物出口被连接到该洗涤气体混合物产生器，该洗涤气体混合物产生器则被建构来将该洗涤气体提供到靠近该表面。

主权项

一种用于将蒸气加到洗涤气体中的设备，该设备包括：一个气体入口，该气体入口与一个或更多的可再生净化器以流体相连通，可再生净化器具有与一气体源以流体相连通的一气体入口及一与一蒸发器的洗涤气体入口以流体相连通的洗涤气体出口，该些净化器从到达该些净化器的一气体入口移除污染物，以形成一洗涤气体；该蒸发器包括一个外罩与一个或更多的微孔中空纤维薄膜；该外罩包含一洗涤气体入口与一洗涤气体混合物出口，该洗涤气体混合物出口与该微孔中空纤维的一第一侧以流体相连通，并且该外罩包括一可蒸发液体入口与可蒸发液体出口，该可蒸发液体出口与该微孔中空纤维的一第二侧边以流体相连通，该些微孔中空纤维薄膜被处理以移除会劣化在一微影投射系统中的光学元件的光学特性的污染物，该些微孔中空纤维可以抵抗一可蒸发液体的液体侵入；一温度调节系统，该温度调节系统将该蒸发器的温度、该洗涤气体混合物出口的温度或上述这些的组合的温度维持在一个或更多的设定点范围内；以及一压力调节系统，该压力调节系统维持可蒸发液体与洗涤气体的压力，以防止在该些微孔中空纤维中在该可蒸发液体中形成洗涤气体的气泡。