| 发明名称 |
Manufacturing methods of semiconductor substrate |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1993126(B1) |
申请公布日期 |
2011.09.21 |
| 申请号 |
EP20080005222 |
申请日期 |
2008.03.19 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. |
发明人 |
OHNUMA, HIDETO |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
