发明名称 Verfahren zur Messung optischer Oberflächen innerhalb einer mehrlinsigen Anordnung
摘要 Verfahren zur Messung optischer Oberflächen innerhalb einer mehrlinsigen Anordnung mit einem lichtabgebenden und lichtempfangenden Messkopf mit: – einem Aufstrahlen eines auf einen Teilbereich der zu untersuchenden Linsenoberfläche fallenden von der Linsenoberfläche wenigstens in geringem Maße reflektierten Lichtbündels unter Drehung eines Prüflings über wenigstens ein definiertes Kreissegment, – Erfassen der zurückgeworfenen Strahlungsenergie auf einem zweidimensionalen Sensor unter ortsaufgelöster Abspeicherung der gemessenen Werte, – Errechnen eines Justierfehlers für die jeweils untersuchte Fläche, unter Berücksichtigung von zuvor bestimmten Lagekoordinaten davor liegender Linsen (Das Merkmal ”unter Berücksichtigung von zuvor bestimmten Lagekoordinaten davor liegender Linsen” im Anspruch 1 stellt eine unzulässige Erweiterung dar, aus der Rechte nicht hergeleitet werden können.), dadurch gekennzeichnet, dass – die Drehung eines Prüflings, einer bereits bestehenden mehrlinsigen Anordnung, um eine hochpräzise Drehachse, die Bezugsachse, erfolgt, – das Aufstrahlen von jeder Seite bei einem mehrlinsigen Prüfling erfolgt, – wobei eine Fokussierung des Einstrahllichts auf...
申请公布号 DE102004029735(C5) 申请公布日期 2011.09.15
申请号 DE200410029735 申请日期 2004.06.21
申请人 TRIOPTICS GMBH 发明人 HEINISCH, JOSEF;KREY, STEFAN, DR.;DUMITRESCU, EUGEN
分类号 G01M11/02 主分类号 G01M11/02
代理机构 代理人
主权项
地址