摘要 |
Verfahren zur Messung optischer Oberflächen innerhalb einer mehrlinsigen Anordnung mit einem lichtabgebenden und lichtempfangenden Messkopf mit: – einem Aufstrahlen eines auf einen Teilbereich der zu untersuchenden Linsenoberfläche fallenden von der Linsenoberfläche wenigstens in geringem Maße reflektierten Lichtbündels unter Drehung eines Prüflings über wenigstens ein definiertes Kreissegment, – Erfassen der zurückgeworfenen Strahlungsenergie auf einem zweidimensionalen Sensor unter ortsaufgelöster Abspeicherung der gemessenen Werte, – Errechnen eines Justierfehlers für die jeweils untersuchte Fläche, unter Berücksichtigung von zuvor bestimmten Lagekoordinaten davor liegender Linsen (Das Merkmal ”unter Berücksichtigung von zuvor bestimmten Lagekoordinaten davor liegender Linsen” im Anspruch 1 stellt eine unzulässige Erweiterung dar, aus der Rechte nicht hergeleitet werden können.), dadurch gekennzeichnet, dass – die Drehung eines Prüflings, einer bereits bestehenden mehrlinsigen Anordnung, um eine hochpräzise Drehachse, die Bezugsachse, erfolgt, – das Aufstrahlen von jeder Seite bei einem mehrlinsigen Prüfling erfolgt, – wobei eine Fokussierung des Einstrahllichts auf...
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