研磨腔室、具备该腔室的研磨装置及其研磨方法

摘要

一种用于研磨装置的腔室，其包括入口、出口、主体和插入件，主体包括位于入口和出口之间的内表面上的凹部，由此，使用时，插入件被可移除地保持在凹部中。该装置还包括壳体和致动部件，由快速释放销将腔室可枢转地固定在壳体的一端，其中，致动部件被连接到腔室，并且致动部件能够被操作以使腔室相对于壳体且朝向和/或离开研磨面地枢转。

主权项

一种用于研磨装置的腔室，其包括入口、出口、主体和插入件，所述插入件包括贯通其厚度的孔，所述主体包括位于所述入口和所述出口之间的所述主体的内表面上的凹部，由此，使用时，所述插入件被可移除地保持在所述凹部中，使得所述孔与所述出口连通。