发明名称 |
高压原位电阻率测量的电极及其制作方法 |
摘要 |
本发明的高压原位电阻率测量的电极及其制作方法属于高压装置的技术领域。两条电极(3)沉积在一颗金刚石压砧(1)上,在金刚石压砧(1)的砧面和侧面再沉积有绝缘保护层(4),电极的金属引线(5)粘在金刚石压砧(1)侧面裸露的电极端头上;两条电极(3)在金刚石压砧(1)砧面的端头分别是圆形和弓形;放置在两颗金刚石压砧(1)之间的金属垫片(6)作为第三电极。电极(3)的制作方法有沉积金属钼、制作电极、沉积氧化铝绝缘保护层和电极引线制作的步骤。利用此电极进行电阻率测量时,不用考虑样品腔内壁不绝缘带来的实验误差;不需要对样品的厚度进行测量,也不用考虑由厚度测量不准确带来的实验误差。 |
申请公布号 |
CN102183693A |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN201110021087.7 |
申请日期 |
2011.01.19 |
申请人 |
吉林大学 |
发明人 |
高春晓;任万彬;彭刚;刘才龙;韩永昊;刘鲍;胡廷静;吴宝嘉;王庆林;邹广田 |
分类号 |
G01R27/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01R27/02(2006.01)I |
代理机构 |
长春吉大专利代理有限责任公司 22201 |
代理人 |
王恩远 |
主权项 |
一种高压原位电阻率测量的电极,沉积在一颗金刚石压砧(1)上,两条电极(3)分别从砧面延伸至侧面;在金刚石压砧(1)的砧面和侧面沉积有氧化铝层作绝缘保护层(4),部分氧化铝层被刻蚀掉使电极(3)在砧面和侧面的端头裸露出来;电极的金属引线(5)粘在金刚石压砧(1)侧面裸露的电极端头上面;其特征在于,两条电极(3)在金刚石压砧(1)砧面的端头分别是圆形和弓形,弓形端头环绕在圆形端头的外面;放置在两颗金刚石压砧(1)之间的金属垫片(6)作为第三电极。 |
地址 |
130012 吉林省长春市前进大街2699号 |