发明名称 |
光电二极管阵列、辐射检测器及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种辐射检测器(7)的光电二极管阵列(1),具有多个结构化设置的光电二极管(2),为了将光转换为电信号,这些光电二极管(2)分别具有活跃的像素区域(6),其中,在至少一部分光电二极管(2)的活跃的像素区域(6)上在该光电二极管阵列(1)的为安置闪烁体阵列(3)而设置的面上设有透明氧化物层(5),该氧化物层(5)具有与该光电二极管(2)相应的折射率。相对于公知的光电二极管阵列氧化物层(5)替代粘合剂。在氧化物层(5)和光电二极管阵列(1)之间的界面上通过均衡折射率使到达的光更少折射或反射。由此使相邻像素(9)之间的光学串扰降低。此外,通过氧化物层(5)光学地可见光电二极管(2)的活跃的像素区域(6)。 |
申请公布号 |
CN102183777A |
申请公布日期 |
2011.09.14 |
申请号 |
CN201110009950.7 |
申请日期 |
2011.01.18 |
申请人 |
西门子公司 |
发明人 |
迈克尔.米斯;斯蒂芬.沃思 |
分类号 |
G01T1/20(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I |
主分类号 |
G01T1/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
谢强 |
主权项 |
一种用于辐射检测器(7)的光电二极管阵列(1),具有多个结构化设置的光电二极管(2),为了将光转换为电信号,这些光电二极管(2)分别具有活跃的像素区域(6),其中,在至少一部分光电二极管(2)的活跃的像素区域(6)上在该光电二极管阵列(1)的为安置闪烁体阵列(3)而设置的面上设有透明氧化物层(5),该氧化物层(5)具有与该光电二极管(2)相应的折射率。 |
地址 |
德国慕尼黑 |