一种直线电机驱动的五轴光学非球面检测装置

摘要

一种直线电机驱动的五轴光学非球面检测装置，涉及一种光学非球面元件面形检测装置。设X/Y/Z轴直线电机、X/Y/Z轴直线导轨、底座、X/Y/Z轴工作台、支柱、横梁、A/C轴工作台、测头固定座、测头和A/C轴DD马达。X/Y/Z轴工作台由X/Y/Z轴直线电机驱动，X轴工作台位于底座上；A轴工作台由A轴DD马达驱动，C轴工作台由C轴DD马达驱动，C轴DD马达位于X轴工作台上，C轴DD马达可随X轴工作台做前后方向的移动；Z轴工作台位于Y轴工作台上，A轴DD马达位于Z轴工作台上，A轴DD马达可随Y轴工作台和Z轴工作台做左右和上下运动。能通过五轴的联动调整测头与工件表面的相对位置，保证测头与工件表面垂直。

主权项

一种直线电机驱动的五轴光学非球面检测装置，其特征在于设有计算机、运动控制卡、驱动器、X轴直线电机、X轴直线导轨、底座、X轴工作台、支柱、横梁、Y轴直线电机、Y轴直线导轨、Y轴工作台、Z轴直线导轨、Z轴直线电机、Z轴工作台、A轴工作台、测头固定座、测头、C轴工作台、C轴DD马达、X轴直线导轨滑块、Y轴直线导轨滑块、Z轴直线导轨滑块和A轴DD马达；驱动器与运动控制卡相连，驱动器受运动控制卡控制；X轴工作台位于底座上，由X轴平板型直线电机驱动，Y轴工作台由Y轴直线电机驱动，Z轴工作台由Z轴直线电机驱动；A轴工作台的旋转运动由A轴DD马达驱动，C轴工作台的旋转运动由C轴DD马达驱动，C轴DD马达位于X轴工作台上，C轴DD马达可随X轴工作台做前后方向的移动；Z轴工作台位于Y轴工作台上，A轴DD马达位于Z轴工作台上，A轴DD马达可随Y轴工作台和Z轴工作台做左右和上下运动。