承载装置

摘要

本发明涉及一种承载装置。该承载装置用以承载至少一黏附有基板废料的基板单元，该承载装置包括集屑盘、框架、第二支撑结构和多个承载滑块：其中，框架设置于该集屑盘的一周边；第二支撑结构，横跨于该框架内；多个承载滑块，至少部份该承载滑块适可于该第二支撑结构上滑移，且与该第二支撑结构间界定多个间隙；当该至少一基板单元承载于该等承载滑块上时，该基板废料可经由该等间隙的至少其中之一掉落至该集屑盘上。本发明的承载装置用以承载该等基板单元，并使该等基板单元与基板废料相分离，避免该等基板单元于取料的过程中，因与废料相对滑动所造成的非预期性损伤，从而通过此治具提升生产了良率。

主权项

一种承载装置，用以承载至少一基板单元，该至少一基板单元黏附有基板废料，其特征在于，该承载装置包括：一集屑盘；一框架，设置于该集屑盘的周边；一第二支撑结构，横跨于该框架内；以及多个承载滑块，至少部份该承载滑块适可于该第二支撑结构上滑移，且与该第二支撑结构间界定多个间隙；当该至少一基板单元承载于该等承载滑块上时，该基板废料可经由该等间隙的至少其中之一掉落至该集屑盘上。