| 主权项 |
一种准分子放电灯，系在由蓝宝石、YAG、或单结晶氧化钇之至少1个所构成的放电容器的外表面设置一对外部电极，在前述放电容器内封入含有氩(Ar)与氟(F)原子的气体的准分子放电灯，其特征为：由前述放电容器的内表面至100μm为止的深度区域所包含的钼(Mo)、铁(Fe)、铬(Cr)的金属杂质总和浓度为600wtppm以下，前述放电容器系构成为管状，在该放电容器内系封入有氩(Ar)与六氟化硫(SF6)与氦(He)或氖(Ne)，在前述放电容器的外表面，系沿着管轴方向设置2个外部电极，前述放电容器系跨及全周在前述放电容器的两端侧具有未设有外部电极的外表面部分，具有设在前述放电容器之两端的作为金属制盖件的盖构件，前述外部电极间隔着放电空间的最短距离≦前述外部电极间的沿面最短距离、而且前述外部电极间隔着放电空间的最短距离<前述外部电极与作为金属制盖件的盖构件间的距离。一种准分子放电灯，系在由蓝宝石、YAG、或单结晶氧化钇之至少1个所构成的放电容器的外表面设置一对外部电极，在前述放电容器内封入含有氩(Ar)与氟(F)原子的气体的准分子放电灯，其特征为：由前述放电容器的内表面至100μm为止的深度区域所包含的钼(Mo)、铁(Fe)、铬(Cr)的金属杂质总和浓度为600wtppm以下，前述放电容器系构成为大致直方体状，在该放电容器内系封入有氩(Ar)与六氟化硫(SF6)与氦(He)或氖(Ne)，在前述放电容器的外表面，系沿着长边方向设置2个外部电极，前述放电容器系跨及全周在前述放电容器的端侧具有未设有外部电极的外表面部分，具有设在前述放电容器之一端的作为金属制盖件的盖构件，前述外部电极间隔着放电空间的最短距离≦前述外部电极间的沿面最短距离、而且前述外部电极间隔着放电空间的最短距离<前述外部电极与作为金属制盖件的盖构件间的距离。 |
