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发明名称 METHOD FOR PREPARING NANO PATTERN WITHOUT MASK AND WITH REACTIVE ION ETCHING
摘要
申请公布号 KR20110098601(A) 申请公布日期 2011.09.01
申请号 KR20100101460 申请日期 2010.10.18
申请人 KOREA UNIVERSITY RESEARCH AND BUSINESS FOUNDATION 发明人 LEE, KYU BACK;LEE, WON BAE;KIM, JUNG SUK
分类号 H01L21/027;H01L21/3213 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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