微机电麦克风及其整合有滤波器的微机电麦克风芯片

摘要

本发明公开了一种微机电麦克风及其整合有滤波器的微机电麦克风芯片，属于微机电麦克风领域。所述的微机电麦克风包括一壳体、一微机电麦克风芯片及一集成电路，壳体具有一腔室及一开口，开口供以外界声音进入腔室，微机电麦克风芯片及集成电路均设置在腔室内的一电路布局上，且麦克风芯片适处整合有一滤波器，经由开口进入腔室的声音由麦克风芯片接收后，透过滤波器及集成电路将声音讯号转换为电讯号，传输至外部电子装置。本发明可在不增加微机电麦克风芯片尺寸的情况下，进一步缩小基板甚至是整个微机电麦克风的尺寸，且因为减少了在基板上设置滤波器的工艺，更能因此省略粘晶打线的步骤，能大福降低进行封装工艺时的成本。

主权项

一种微机电麦克风，其特征是，包括有：一壳体，具有一腔室及一开口，该开口连通所述腔室与外界；一微机电麦克风芯片，设置于所述腔室内的一电路布局上，且该麦克风芯片的整合有一滤波器；以及一集成电路，设置于所述电路布局上并电性连接于该微机电麦克风芯片。