| 发明名称 | 基于剪应力检测的叉结构石英微机械陀螺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于剪应力检测的叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底和陀螺总成，陀螺总成包括检测梁、一根以上的驱动梁、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁与检测梁呈交叉状布置，所述驱动梁的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁的外表面上，所述检测电极装设于检测梁的外表面上。本发明是一种结构简单紧凑、成本低廉、灵敏度高、制造工艺简单、成品率高的基于剪应力检测的叉结构石英微机械陀螺。 | ||
| 申请公布号 | CN101738184B | 申请公布日期 | 2011.08.31 |
| 申请号 | CN200910226760.3 | 申请日期 | 2009.12.29 |
| 申请人 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 发明人 | 吴学忠;李圣怡;谢立强;肖定邦;董培涛;王浩旭;满海鸥;牛正一;翔 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01)I;G01L1/16(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人 | 周长清;陈晖 |
| 主权项 | 一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底(1)和陀螺总成，其特征在于：所述陀螺总成包括检测梁(3)、一根以上的驱动梁(4)、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁(4)与检测梁(3)呈十字交叉状布置，所述驱动梁(4)的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁(4)的外表面上，所述检测电极装设于检测梁(3)的外表面上；所述驱动梁(4)位于检测梁(3)的中部。 | ||
| 地址 | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院 | ||