发明名称 WATER LEAKAGE PREVENTION MASK ABSENCE OF ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR20110096709(A) 申请公布日期 2011.08.31
申请号 KR20100016096 申请日期 2010.02.23
申请人 AU-TECH CO., LTD. 发明人 JUNG, KI SUK
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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