光活性化合物

摘要

本发明涉及新的光产酸剂。本发明涉及新的光活性化合物，其在缩微平版印刷术领域用于光刻组合物，尤其用于半导体元件生产中的阴性成像和阳性图像，以及用于光刻胶成像中的光刻胶组合物和工艺。

主权项

1.具有下式的化合物其中R^A、R^B各自独立地是OR¹，R^C独立地是氢或OR¹，其中每个R¹独立地是烷基，所述烷基是未取代的或被一或多个如下基团取代：卤素，烷基，单环烷基或多环烷基，烷氧基，环烷氧基，二烷基氨基，双环二烷基氨基，羟基，氰基，硝基，三氟代乙烷磺酰基，氧代，芳基，芳烷基，氧原子，CF₃SO₃，芳氧基，芳基硫基和式(II)至(VI)的基团：其中R¹⁰和R¹¹每个独立地表示氢原子，任选包含一个或多个O原子的直链或支链烷基链，或单环烷基或多环烷基，或R¹⁰和R¹¹能够一起表示亚烷基以形成五或六元环，R¹²表示任选包含一个或多个O原子的直链或支链烷基链，单环烷基或多环烷基，或芳烷基，或R¹⁰和R¹²一起表示亚烷基，与插入的-C-O-基团一起形成五或六元环，环中的碳原子任选被氧原子取代，R¹³表示任选包含一个或多个O原子的直链或支链烷基链，或单环烷基或多环烷基，R¹⁴和R¹⁵每个独立地表示氢原子，任选包含一个或多个O原子的直链或支链烷基链，或单环烷基或多环烷基，R¹⁶表示任选包含一个或多个O原子的直链或支链烷基链，单环烷基或多环烷基，芳基或芳烷基，和R¹⁷表示任选包含一个或多个O原子的直链或支链烷基链，单环烷基或多环烷基，芳基，芳烷基，基团-SiR¹⁶₂R₁₇，或基团-O-SiR¹⁶₂R₁₇，任选包含一个或多个O原子的直链或支链烷基链、单环烷基或多环烷基，其中芳基和芳烷基是未被取代的或按照上面的方式被取代；和X^-是阴离子。