真空绝热式高纯气体低温吸附纯化设备

摘要

本实用新型公开了真空绝热式高纯气体低温吸附纯化设备，包括：冷却吸附剂液氮接入口，真空腔接入口，设备真空腔，设备吸附剂容器腔，冷却吸附剂的6片式低温翅片，高纯气体吸附纯化产品出口，冷却吸附剂液氮出口，更换吸附剂出口，待吸附纯化高纯气体入口和监测纯化气体压力表；设备吸附剂容器腔位于设备真空腔内部，设备真空腔的外表面为设备的外壳；冷却吸附剂液氮接入口连接到冷却吸附剂的6片式低温翅片，真空腔接入口和设备真空腔连通；冷却吸附剂的6片式低温翅片位于设备吸附剂容器腔内。

主权项

1.真空绝热式高纯气体低温吸附纯化设备，其特征在于，所述设备包括：冷却吸附剂液氮接入口，真空腔接入口，设备真空腔，设备吸附剂容器腔，冷却吸附剂的6片式低温翅片，高纯气体吸附纯化产品出口，冷却吸附剂液氮出口，更换吸附剂出口，待吸附纯化高纯气体入口和监测纯化气体压力表；设备吸附剂容器腔位于设备真空腔内部，设备真空腔的外表面为设备的外壳；冷却吸附剂液氮接入口连接到冷却吸附剂的6片式低温翅片，真空腔接入口和设备真空腔连通；冷却吸附剂的6片式低温翅片位于设备吸附剂容器腔内，冷却吸附剂的6片式低温翅片的轴线位于设备吸附剂容器腔的正中心；高纯气体吸附纯化产品出口位于设备吸附剂容器腔的下端左侧，冷却吸附剂液氮出口位于冷却吸附剂的6片式低温翅片的下端，更换吸附剂出口位于设备吸附剂容器腔的下端右侧，待吸附纯化高纯气体入口位于设备吸附剂容器腔的上端右侧，监测纯化气体压力表和设备吸附剂容器腔连通。