| 发明名称 | 基板缓冲暂存设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种基板缓冲暂存设备，涉及液晶显示器领域，能够在显影单元之后干燥工艺的烤箱单元故障时，暂时容置由显影单元传送到烤箱单元的基板，避免基板在显影单元的显影模块长时间停留而被显影液腐蚀，从而有效减少了基板的报废。基板缓冲暂存设备包括：位于显影单元的出口模块下方，用于承载基板的缓冲架；与所述缓冲架相固接，用于控制所述缓冲架的升降的升降装置。本实用新型应用于基板制造的显影设备。 | ||
| 申请公布号 | CN201946576U | 申请公布日期 | 2011.08.24 |
| 申请号 | CN201020681660.8 | 申请日期 | 2010.12.24 |
| 申请人 | 北京京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 王全军 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
| 主权项 | 一种基板缓冲暂存设备，其特征在于，包括：位于显影单元的出口模块下方，用于承载基板的缓冲架；与所述缓冲架相固接，用于控制所述缓冲架的升降的升降装置。 | ||
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区西环中路8号 | ||