狭缝喷嘴清洗装置和涂覆装置

摘要

本发明提供一种狭缝喷嘴清洗装置，能够短时间有效清洗狭缝喷嘴的喷出口周边部。该狭缝喷嘴清洗部(52)具有沿着狭缝喷嘴(32)的喷出口周边部在与狭缝喷嘴的长边方向平行的水平的清洗扫描方向(Y方向)移动的滑动架(64)。狭缝喷嘴清洗部(52)，在清洗扫描方向，以第一清洗单元(70)为始，以下为第一擦拭单元(72)、第二清洗单元(74)、第二擦拭单元(76)和干燥单元(78)，以该顺序排成一列地搭载在该滑动架(64)上。

主权项

一种狭缝喷嘴清洗装置，用于对涂覆处理中使用的具有狭缝状的喷出口的长尺型狭缝喷嘴的喷出口周边部进行清洗，该狭缝喷嘴清洗装置的特征在于，包括：沿着所述狭缝喷嘴的喷出口周边部与所述狭缝喷嘴的长边方向平行地在水平的清洗扫描方向上移动的滑动架；搭载在所述滑动架上的、在所述清洗扫描方向上移动得同时向所述狭缝喷嘴的喷出口周边部喷出清洗液的第一清洗单元；和，在所述清洗扫描方向上位于所述清洗单元之后并搭载在所述滑动架上的、在所述清洗扫描方向上移动的同时擦去附着在所述狭缝喷嘴的喷出口周边部的液体的第一擦拭单元。