| 主权项 |
一种制程资讯管理装置，其包含：处方储存部，其分别对应2以上之控制装置储存前述2以上之控制装置保持之关于制程资讯之2以上之处方，且储存成为基准之处方之主处方，而前述2以上之控制装置系分别控制进行对于被处理基板之特定制程之2以上之处理装置者；处方异同资讯获取部，其就前述2以上之每个处方，获取关于前述主处方与前述2以上之处方之异同之异同资讯；及异同资讯输出部，其一次输出前述处方异同资讯获取部获取之前述主处方与前述2以上之处方之异同资讯。如请求项1之制程资讯管理装置，其进而包含：受理部，其在前述异同资讯输出部就前述2以上之每个处方输出异同资讯后，受理对于一处方之指示；及步骤异同获取部，其比较对应于前述受理部受理之前述指示之处方所包含之1以上之步骤、与前述主处方所包含之1以上之步骤，就每步骤获取作为每步骤异同之步骤异同资讯；且前述异同资讯输出部，亦输出前述步骤异同获取部获取之1以上之步骤异同资讯。如请求项2之制程资讯管理装置，其中前述异同资讯输出部，在受理部受理对于一处方之指示受理为止，不输出处方之内容的步骤之资讯。如请求项1之制程资讯管理装置，其进而包含：处方接收部，其自前述控制装置接收处方；且前述处方储存部之处方之至少一部分系前述处方接收部所接收之处方。如请求项1之制程资讯管理装置，其中储存关于前述2以上之控制装置之资讯的2以上之控制装置资讯之控制装置资讯储存部；与前述处方异同之讯获取部；系就前述2以上之每个处方，获取前述主处方与前述控制装置资讯储存部之2以上之控制装置资讯显示的对应于前述2以上之控制装置之2以上的处方之异同资讯。如请求项2之制程资讯管理装置，其中前述受理部亦受理2以上之处方之指定；前述处方异同资讯获取部系获取主处方与受理前述处方之指定的2以上之处方之异同资讯。一种程式产品，该程式用于使电脑分别对应2以上之控制装置、储存前述2以上之控制装置保持之关于制程资讯之2以上之处方，且储存成为基准之处方之主处方，而前述2以上之控制装置系分别控制实行对于被处理基板之特定制程之2以上之处理装置者；且实行以下步骤：处方异同资讯获取步骤，其就2以上之每个处方获取关于前述主处方与前述2以上之处方之异同之异同资讯；及异同资讯输出步骤，其一次输出以前述处方异同资讯获取步骤获取之前述主处方与前述2以上之处方之异同资讯。一种制程资讯管理方法，其系分别对应2以上之控制装置储存前述2以上之控制装置保持之关于制程资讯之2以上之处方，且储存成为基准之处方之主处方之制程资讯管理装置中之处方之异同资讯输出方法，而前述2以上之控制装置系分别控制进行对于被处理基板之特定制程之2以上之处理装置者；其系由处方异同资讯获取部与异同资讯输出部所实现之处方之异同资讯输出方法，包含：处方异同资讯获取步骤，其由处方异同资讯获取部就前述2以上之每个处方，获取关于前述主处方与前述2以上之处方之异同之异同资讯；及异同资讯输出步骤，其由异同资讯输出部一次输出前述处方异同资讯获取步骤获取之前述主处方与前述2以上之处方之异同资讯。 |
