一种减薄划片废水的回用工艺和系统

摘要

本发明利用膜分离技术处理硅片减薄划片废水，将废水中的单晶硅浓缩回收，其中膜透过液作为混床进水回用到生产工艺上。根据本发明的一种硅片减薄划片废水处理方法，包括先采用精密过滤器所述硅片减薄划片废水，再采用中空纤维超滤装置进行处理，获得超滤透过液和浓缩液，最后所述超滤透过液进行深度脱盐处理的过程。减薄划片废水经过本发明回用处理，使水资源充分利用回收，节省了大量工业用水。

主权项

一种减薄划片废水的回用工艺，其特征在于：首先将减薄划片废水经过过滤精度为50μm—100μm的精密过滤器，截留废水中的粗硅，当精密过滤器进出口压差达到0.1MPa，清洗滤元以恢复性能，并将精密过滤器底部的粗硅回收；然后将过滤后的水经过第一级超滤装置，产水作为深度脱盐装置进水，脱盐后供生产用水，浓水进入浓缩液水箱；经过第一级超滤装置处理后的浓水作为第二级超滤装置的进水，经过了第二级超滤装置的产水与第一级超滤装置的产水混合作为深度脱盐装置的进水，经过第二级超滤装置的浓水则回流至硅粉浓缩液水箱，循环浓缩；经过了深度脱盐后的废水排出到废水池内。