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一种光罩盒之定位结构，主要包括有：一底座及一上盖；其中，该底座上设有一供安装晶圆片之安装座；其特征在于：该上盖内壁选定位置上设有至少一个定位元件，该等定位元件设有一弹性本体，该弹性本体末端设有一接触尖端，用以接触及压住该安装座上之一晶圆片表面，俾透过该等定位元件之接触尖端与该晶圆片表面之点接触，使能减少与该晶圆片接触之磨耗。如申请专利范围第1项所述之光罩盒之定位结构，其中该等定位元件系以一螺丝锁固于该上盖之内壁选定位置上。如申请专利范围第1项所述之光罩盒之定位结构，其中该等定位元件系以一体成型固设于该上盖之内壁选定位置上。如申请专利范围第1项所述之光罩盒之定位结构，其中该上盖系由一内盖及一外盖所构成，该等定位元件设于该内盖之内壁选定位置上，该内盖系连接于该外盖内壁上。如申请专利范围第4项所述之光罩盒之定位结构，其中该等定位元件系以一螺丝锁固于该内盖之内壁选定位置上。如申请专利范围第4项所述之光罩盒之定位结构，其中该等定位元件系以一体成型固设于该内盖之内壁选定位置上。如申请专利范围第1项所述之光罩盒之定位结构，其中该等定位元件之弹性本体可为一圆柱状弹性本体。如申请专利范围第1项所述之光罩盒之定位结构，其中该弹性本体末端设有一具弹性之接触尖端。如申请专利范围第1项所述之光罩盒之定位结构，其中该等定位元件之弹性本体可为一菱形弹性本体。如申请专利范围第1项所述之光罩盒之定位结构，其中该上盖可由一内盖及一外盖一体成型所构成，该等定位元件设于该内盖之内壁选定位置上。 |
