| 主权项 |
一种曝光能量调整系统，系于一量测平板均布有复数个光能量感测器，并将该复数个光能量感测器连接至一程式运算器，该程式运算器则根据各个光能量感测器所量测之能量强度运算出相关光学元件应如何调整，俾以让曝光区域拥有强度及均匀度皆佳之曝光能量，进而进行相关光学元件之位置调整者。如申请专利范围第1项所述之曝光能量调整系统，其中，该程式运算器将相关光学元件应如何调整之资讯显示出来，而由操作人员进行相关光学元件之位置调整。如申请专利范围第1项所述之曝光能量调整系统，其中，进一步令相关光学元件连结有驱动器，且由该程式运算器下指令至驱动器，进而自动进行相关光学元件之位置调整。 |
