发明名称 校正装置、校正方法以及测试装置
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.08.11
申请号 TW096138489 申请日期 2007.10.15
申请人 爱德万测试股份有限公司 发明人 石田雅裕
分类号 G01R35/00;G01R31/28;G01R29/26 主分类号 G01R35/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种校正装置,为一种对抖动测定电路进行校正的校正装置,其中,该抖动测定电路包括:抖动信号生成部,上述抖动信号生成部所生成之抖动信号是依据输入信号的抖动而使H逻辑或L逻辑的至少一种的持续时间进行变化;积分部,藉由依据前述抖动信号的逻辑值,以规定的电流将电容器进行充放电,而将前述抖动信号进行积分,并输出与前述输入信号的抖动量相对应位准的抖动测定信号;而且,该校正装置包括:电流控制部,使前述积分部输出将前述电容器进行充放电之规定的充电电流或规定的放电电流的至少一种;电压测定部,在前述电流控制部使前述充电电流或放电电流输出的状态下,对前述电容器的电压变化进行测定;增益计算部,根据前述电压测定部所测定的前述电压变化,而计算前述积分部的增益。如申请专利范围第1项所述之校正装置,其中,前述积分部具有生成前述充电电流的源极侧电流源及生成前述放电电流的汇流侧电流源;前述源极侧电流源与前述汇流侧电流源具有与前述电容器电压相应的电流值变化之特性;前述电流控制部从前述电容器所积蓄的电荷量大致饱和的状态,或前述电容器所积蓄的电荷量大致为零的状态,使前述电容器放电,或使前述电容器充电;前述电压测定部对从前述电容器所积蓄的电荷量大致饱和的状态,或从前述电容器所积蓄的电荷量大致为零的状态开始的,前述电容器的电压变化进行测定。如申请专利范围第2项所述之校正装置,其中,前述增益计算部根据前述积分部的动作点的前述电容器的电压变化,而计算增益。如申请专利范围第1项所述之校正装置,其中,前述抖动信号生成部生成抖动信号,该抖动信号是依据前述输入信号的抖动,而使H逻辑或L逻辑中的一种的持续时间产生变化;前述积分部具有源极侧电流源及汇流侧电流源,该源极侧电流源是依据前述抖动信号的一逻辑值,而将规定的充电电流供给到前述电容器,汇流侧电流源是依据前述抖动信号的另一个,而将规定的放电电流从前述电容器引出;前述电流控制部将由前述抖动信号的逻辑值所控制之前述源极侧电流源或前述汇流侧电流源,与前述电容器进行连接,前述抖动信号是依据前述输入信号的抖动而使持续时间变化;前述电压控制部在前述电流控制部将前述源极侧电流源或前述汇流侧电流源与前述电容器进行连接的状态下,对前述电容器的电压变化进行测定。如申请专利范围第4项所述之校正装置,更包括调整部,该调整部对前述源极侧电流源及前述汇流侧电流源的电流值预先进行调整,以在没有抖动的前述输入信号被输入到前述抖动测定电路中的情况下,使前述抖动测定信号的位准显示大致一定的值。如申请专利范围第1项所述之校正装置,其中,前述抖动测定电路形成在半导体封装的内部;前述电流控制部从前述半导体封装的外部供给控制信号,该控制信号使前述积分部输出将前述电容器进行充放电规定的充电电流或规定的放电电流。一种校正方法,为一种对抖动测定电路进行校正的校正方法,其中,该抖动测定电路包括:抖动信号生成部,该抖动信号生成部生成之抖动信号是依据输入信号的抖动而使H逻辑或L逻辑中至少一种的持续时间进行变化;积分部,藉由依据前述抖动信号的逻辑值,以规定的电流将电容器进行充放电,而将前述抖动信号进行积分,并输出与前述输入信号的抖动量相对应位准的前述抖动测定信号;其中该校正方法包括:使前述积分部输出将前述电容器进行充放电规定的充电电流或规定的放电电流的至少一种,并在使前述积分部输出前述充电电流或放电电流的状态下,对前述电容器的电压变化进行测定,且根据所测定的前述电压变化,计算前述积分部的增益。一种测试装置,为一种对被测元件进行测试的测试装置,包括:抖动测定电路,包括一抖动信号生成部及一积分部,该抖动信号生成部生成之抖动信号是根据前述被测元件所输出的被测信号而使H逻辑或L逻辑中至少一种的持续时间进行变化,该积分部是依据前述抖动信号的逻辑值,以规定的电流将电容器进行充放电,而将前述抖动信号进行积分,且输出利用可变延迟电路而使前述被测信号延迟的延迟信号,并输出与前述被测信号的抖动量相对应位准的抖动测定信号;判定部,根据前述抖动测定信号而判定前述被测元件的好坏;校正装置,预先对前述抖动测定电路进行校正;其中,前述校正装置包括:电流控制部,使前述积分部输出将前述电容器进行充放电规定的充电电流或规定的放电电流的至少一种;电压测定部,在前述电流控制部使前述充电电流或放电电流输出的状态下,对前述电容器的电压变化进行测定;增益计算部,根据前述电压测定部所测定的前述电压变化,计算前述积分部的增益。
地址 日本
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