用于减少电子器件制造器械的覆盖区域的方法和设备

摘要

在本发明的至少一个方面，一种方法包括定位电子器件制造器械的负载锁，从而使负载锁占据第一占地面积；把主架动力源定位在第二占地面积中，其中第二占地面积的大部分位于第一占地面积中，从而减少了电子器件制造器械的覆盖区域。此外，或者可选择地，一个主架控制器可以这样放置，使得它所占据的覆盖区域基本上与负载锁的覆盖区域重叠。此外还提供本发明的其它多个方面。

主权项

一种用于减少电子器件制造器械的覆盖区域的方法，包括：定位电子器件制造器械的负载锁，从而使负载锁占据第一占地面积；把主架动力源定位在第二占地面积，其中第二占地面积的至少50％位于第一占地面积中，从而减少了电子器件制造器械的覆盖区域，其中所述主架动力源用于向每个处理室动力箱提供动力；以及把主架控制器定位在所述负载锁的下方。