| 发明名称 |
Thin film structure and method for fabricating a thin film structure |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2462604(B) |
申请公布日期 |
2011.08.10 |
| 申请号 |
GB20080014659 |
申请日期 |
2008.08.11 |
| 申请人 |
TOSHIBA RESEARCH EUROPE LIMITED |
发明人 |
CARL EDWARD NORMAN;KATJA FRANZISKA KASTL |
| 分类号 |
C23C14/54;B01J19/00;C40B60/00 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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