一种微悬臂梁接触力分布的测量结构及其方法

摘要

本发明公开了一种微悬臂梁接触力分布的测量结构及其方法，所述测量结构包括衬底和金属或多晶硅悬臂粱，所述衬底上设有悬臂梁锚区、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极和对应与悬臂粱的衬底接触电极，所述悬臂梁通过悬臂梁锚区固定在衬底上方，所述衬底接触电极由两条以上并行排列的窄条电极构成，所述窄条电极的两个末端分别连接有压焊块，所述窄条电极中间断开分成窄条电极对。测量时，在下拉电极的静电激励下，悬臂梁与衬底接触电极接触，使相应的断开的窄条电极对接通，悬臂梁与衬底电极间的接触力越大，它们之间接触的就越紧密，相应的接触电阻就越小。本发明提供的测量结构简单，测量方法容易并且能够实现在线测量。

主权项

一种微悬臂梁接触力分布的测量结构，其特征在于：所述测量结构包括衬底(1)和金属或多晶硅悬臂粱(3)，所述衬底(1)上设有悬臂梁锚区(2)、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极(4)和对应于悬臂粱(3)的衬底接触电极，所述悬臂粱(3)通过悬臂梁锚区(2)固定在衬底(1)上方，所述衬底接触电极由两条以上并行排列的窄条电极构成，所述窄条电极的两个末端分别连接有压焊块，所述窄条电极中间断开分成窄条电极对。