发明名称 |
立体图纹形成方法 |
摘要 |
本发明公开一种立体图纹形成方法,步骤包含:提供一成型工件,其外表面与内表面分别具有一第一光阻层与一第二光阻层;将成型工件置于在一透光治具上;曝光及显影第一光阻层与第二光阻层,使得第一光阻层形成一图案化光阻层,第二光阻层形成一蚀刻保护层;蚀刻成型工件,以使成型工件的外表面形成一立体图纹;以及移除图案化光阻层与蚀刻保护层。 |
申请公布号 |
CN102141728A |
申请公布日期 |
2011.08.03 |
申请号 |
CN201010533687.7 |
申请日期 |
2010.10.29 |
申请人 |
仁宝电脑工业股份有限公司 |
发明人 |
张建明;吴荣钦;庄万历 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;G03F1/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
逯长明 |
主权项 |
一种立体图纹形成方法,其特征在于,包括:提供一成型工件,其外表面与内表面分别具有一第一光阻层与一第二光阻层;将该成型工件置于在一透光治具上;曝光及显影该第一光阻层与该第二光阻层,使得该第一光阻层形成一图案化光阻层,该第二光阻层形成一蚀刻保护层;蚀刻该成型工件,以使该成型工件的该外表面形成一立体图纹;以及移除该图案化光阻层与该蚀刻保护层。 |
地址 |
中国台湾台北市 |