发明名称 立体图纹形成方法
摘要 本发明公开一种立体图纹形成方法,步骤包含:提供一成型工件,其外表面与内表面分别具有一第一光阻层与一第二光阻层;将成型工件置于在一透光治具上;曝光及显影第一光阻层与第二光阻层,使得第一光阻层形成一图案化光阻层,第二光阻层形成一蚀刻保护层;蚀刻成型工件,以使成型工件的外表面形成一立体图纹;以及移除图案化光阻层与蚀刻保护层。
申请公布号 CN102141728A 申请公布日期 2011.08.03
申请号 CN201010533687.7 申请日期 2010.10.29
申请人 仁宝电脑工业股份有限公司 发明人 张建明;吴荣钦;庄万历
分类号 G03F7/00(2006.01)I;G03F1/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 逯长明
主权项 一种立体图纹形成方法,其特征在于,包括:提供一成型工件,其外表面与内表面分别具有一第一光阻层与一第二光阻层;将该成型工件置于在一透光治具上;曝光及显影该第一光阻层与该第二光阻层,使得该第一光阻层形成一图案化光阻层,该第二光阻层形成一蚀刻保护层;蚀刻该成型工件,以使该成型工件的该外表面形成一立体图纹;以及移除该图案化光阻层与该蚀刻保护层。
地址 中国台湾台北市