一种防断裂自定心精密子晶装夹结构

摘要

一种防断裂自定心精密子晶装夹结构，在旋转提升杆下端面设有同轴的定心孔和扭转沉孔，子晶由同轴的旋转拉杆、扭转台阶和定心杆组成，定心杆与定心孔精密配合，扭转台阶与扭转沉孔周向配合限位，通过定心杆与定心孔的精密配合实现同轴定位，通过扭转台阶与扭转沉孔的周向限位实现同步转动，用子晶螺纹套进行轴向固定实现同步升降。由于将传递扭矩的配合结构设置在子晶与旋转提升杆之间，通过子晶与旋转提升杆的同轴配合和周向限位，再用子晶螺纹套来固定，既满足了子晶与旋转提升杆同步旋转和同步升降的要求，又满足了在接棒过程中硅棒和子晶不能旋转的要求，消除了子晶断裂、硅棒表面容易划伤或爆瓷缺陷，提高了硅棒的几何尺寸精度和形位精度。

主权项

一种防断裂自定心精密子晶装夹结构，包括拉晶炉的旋转提升杆(1)、子晶(2)和子晶螺纹套(3)，子晶(2)套装在子晶螺纹套(3)中，子晶螺纹套(3)通过内螺纹旋固在旋转提升杆(1)上，其特征是：在旋转提升杆(1)下端面的中心位置设有同轴的定心孔(11)和扭转沉孔(12)，定心孔(11)和扭转沉孔(12)均与旋转提升杆(1)同轴，定心孔(11)和扭转沉孔(12)构成台阶沉孔结构，且定心孔(11)位于扭转沉孔(12)的上方，在旋转提升杆(1)的外圆上设有外螺纹(13)；子晶(2)为阶梯轴结构，它由定心杆(21)、扭转台阶(22)和旋转拉杆(23)组成，定心杆(21)位于扭转台阶(22)的上方，旋转拉杆(23)位于扭转台阶(22)的下方，定心杆(21)、扭转台阶(22)和旋转拉杆(23)的轴线重合，定心杆(21)的直径与定心孔(11)的直径相对应，定心杆的高度(A)略小于定心孔的深度(B)，扭转台阶(22)的横截面形状和大小与扭转沉孔(12)相对应，扭转台阶的高度(C)略大于扭转沉孔的深度(D)；子晶螺纹套(3)包括内螺纹孔(31)、子晶孔(32)和内端面(33)，要求内螺纹孔(31)与子晶孔(32)同轴，内端面(33)与内螺纹孔(31)的轴线垂直。