使用虚拟模块的半导体处理方法

摘要

本发明涉及半导体处理系统的控制。另外，本发明涉及运行到运行控制器，其用于创建虚拟模块以在半导体晶片处理期间控制由多室工具执行的多趟过程。

主权项

一种在包括主机系统和处理系统的半导体处理系统中操作处理系统控制器的方法，所述方法包括：接收晶片的静态虚拟模块计划，其中所述静态虚拟模块计划包括所述晶片的期望过程结果和所述晶片的过程序列，所述过程序列包括多个物理模块对象、所述晶片可用于获得期望过程结果的通过每个处理模块的实际次数、所述晶片可用于获得期望过程结果的通过每个测量模块的实际次数、以及虚拟模块对象，其中，所述物理模块对象与所述晶片对处理模块和测量模块的访问相关联，所述虚拟模块对象与所述晶片对处理模块和测量模块的不访问相关联；执行所述过程序列；当所述过程序列中的物理模块对象被执行时，采集处理模块数据或测量模块数据；以及当所述过程序列中的虚拟模块对象被执行时，采集虚拟模块数据。