蒸镀源单元、蒸镀装置以及蒸镀源单元的温度调整装置

摘要

本发明提供一种可精确地控制成膜速度的蒸镀源单元、蒸镀装置和蒸镀源单元的温度调整方法。蒸镀装置(20)具有蒸镀源单元(100)、输送被气化的成膜材料的输送机构(200)、和喷出被输送的成膜材料的喷出机构(400)。蒸镀源单元(100)具有蒸镀源组件(As)、外壳(Hu)、和水冷套管(150)。蒸镀源组件(As)由气体供给机构(105)、气体导入部(115)和第1材料气化室(U)一体地形成。从形成在气体供给机构(105)中的多个气体流路(105p)向第1材料气化室(U)导入氩气。外壳(Hu)的加热器(120)对第1材料气化室(U)中的成膜材料和流过多个气体流路(105p)的载气进行加热。被气化的成膜材料由氩气输送。水冷套管(150)按照从外壳(Hu)的外周面离开规定距离的方式设置，用于冷却蒸镀源单元(100)。

主权项

一种蒸镀源单元，用于使成膜材料气化，并通过载气输送被气化的成膜材料，其中，上述蒸镀源单元具有蒸镀源组件和收纳上述蒸镀源组件的外壳，上述蒸镀源组件具有：第1材料气化室，其收纳成膜材料，并使收纳的成膜材料气化；和气体供给机构，其包括多个气体流路，为了向上述第1材料气化室供给载气而使载气流入到上述多个气体流路，上述外壳具有加热机构，该加热机构对在上述多个气体流路中流过的载气和被收纳在上述第1材料气化室中的成膜材料进行加热。