一种用于MOCVD处理系统的预装片子系统

摘要

本实用新型提供了一种用于MOCVD处理系统的预装片子系统，其中，所述预装片子系统包括：基片盒，其内部容纳有多片基片；以及装片室，其一侧与所述基片盒相连接，另一侧与所述真空锁相连接，所述装片室内设置有第二传输装置、载片盘托架、载片盘以及第三传输装置，所述载片盘放置于所述载片盘托架上，所述第二传输装置设置于所述基片盒和所述载片盘托架之间，用于在二者之间取、放基片，所述第三传输装置设置于所述载片盘托架和所述真空锁之间，用于在二者之间取、放载片盘。本实用新型能够有效地节省洁净室的空间，并且能够实现基片在处理系统中的自动化传输，节约了人力物力成本。

主权项

一种用于MOCVD处理系统的预装片子系统，其中，所述预装片子系统包括：基片盒，其内部容纳有多片基片；以及装片室，其一侧与所述基片盒相连接，另一侧与所述MOCVD处理系统的真空锁相连接，所述装片室内设置有第二传输装置、载片盘托架、载片盘以及第三传输装置，所述载片盘放置于所述载片盘托架上，所述第二传输装置设置于所述基片盒和所述载片盘托架之间，用于在二者之间取、放基片，所述第三传输装置设置于所述载片盘托架和所述真空锁之间，用于在二者之间取、放载片盘。