探针卡基板

摘要

本发明涉及一种探针卡基板，并提供一种特征为通过设置基板上包含接收电气信号的多个被测元件的多个多层陶瓷区块，以使电气信号均等地分支到每个被测元件的探针卡基板。根据本发明，在探针卡基板，设计为用四个待测器件构成一个多层陶瓷区块，因此能够降低因分支造成的信号偏差。其结果，具有能够在没有引起分支偏差的情况下接收在检测时从半导体元件传递的信号，且能够降低阻抗失配的效果。因此，可适合作为具有高速、高频特性的半导体检测设备。

主权项

一种探针卡基板，其特征在于包括：用于与外部的印刷电路板进行电气连接的连接部；以及与所述连接部电气连接，且从所述连接部接收电气信号而形成测试的多个被测元件被设定为一个区块的多个多层陶瓷区块，从所述连接部传递到所述多个多层陶瓷区块中的某一个多层陶瓷区块的电气信号均等地分支并传递到每个所述多个被测元件。