| 发明名称 | 一种平板式等离子镀膜设备除尘装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种平板式等离子镀膜设备除尘装置，设置在平板式镀膜设备的出口处，其特征在于，它包括一垂直于载板移动方向的风刀，风刀设置在一端密闭的管上，该管外接空气压缩机。本实用新型结构简单，装置可在载板运行到出料口时自动启动，有效的去除镀膜工件表面灰尘，并且在流水线生产过程中，不增加额外的手动操作和影响节拍时间。 | ||
| 申请公布号 | CN201908129U | 申请公布日期 | 2011.07.27 |
| 申请号 | CN201020666572.0 | 申请日期 | 2010.12.18 |
| 申请人 | 广东爱康太阳能科技有限公司 | 发明人 | 李云峰 |
| 分类号 | C23C16/00(2006.01)I;B08B5/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州市深研专利事务所 44229 | 代理人 | 陈雅平 |
| 主权项 | 一种平板式等离子镀膜设备除尘装置，设置在平板式镀膜设备的出口处，其特征在于，它包括一垂直于载板移动方向的风刀，风刀设置在一端密闭的管上，该管外接空气压缩机。 | ||
| 地址 | 528100 广东省佛山市三水区三水工业园区C区69号 | ||