一种减少多晶硅铸锭应力的方法

摘要

本发明涉及一种减少多晶硅铸锭应力的方法。本发明是将多晶硅锭放置于超声振荡清洗机中，同时放入100℃的水，开加热器，使水保持沸腾状态，开启超声波清洗机，使其保持高频振荡状态，逐渐冷却后将硅锭取出。取出后，立即将硅锭去边皮后破成小方锭，空气中储存。采用本发明方法可大大减少多晶硅铸锭应力。

主权项

一种减少多晶硅铸锭应力的方法，将刚出炉的多晶硅锭放置于超声波清洗设备中，同时放入100℃的水，开加热器，使水保持沸腾状态，开启超声波清洗机，使其保持高频振荡状态，频率为20KHZ‑200KHZ，振荡至少1h，然后控制水温，使水以5～20℃/h的速度逐渐冷却至室温，最后将硅锭取出，去除边皮，破成小方锭，空气中保存。