| 发明名称 | 沉积源、具有该沉积源的沉积装置和形成薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种沉积源、一种具有该沉积源的沉积装置和一种形成薄膜的方法。所述沉积源包括：第一沉积源部分，所述第一沉积源部分被构造为储存沉积材料；第二沉积源部分，所述第二沉积源部分与所述第一沉积源部分分离，并被构造为储存所述沉积材料，所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分被构造为在加热或冷却所述沉积材料时交替地提供所述沉积材料；供给部分，被构造为从所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分接收蒸发的沉积材料；喷嘴部分，被构造为从所述供给部分接收所述沉积材料。 | ||
| 申请公布号 | CN102134707A | 申请公布日期 | 2011.07.27 |
| 申请号 | CN201010569824.2 | 申请日期 | 2010.11.30 |
| 申请人 | 三星移动显示器株式会社 | 发明人 | 郑石源;崔丞镐;李康逸;宋贤根;卢喆来 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/448(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 韩明星;李娜娜 |
| 主权项 | 一种沉积源，所述沉积源包括：第一沉积源部分，所述第一沉积源部分被构造为储存沉积材料；第二沉积源部分，所述第二沉积源部分与所述第一沉积源部分分离，并被构造为储存所述沉积材料，所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分被构造为在加热或冷却所述沉积材料时交替地提供所述沉积材料；供给部分，所述供给部分被构造为从所述第一沉积源部分和所述第二沉积源部分接收蒸发的沉积材料；喷嘴部分，所述喷嘴部分被构造为从所述供给部分接收所述沉积材料。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道龙仁市 | ||