一种微型传感器用温度控制装置

摘要

一种用于微型传感器的局部温度控制装置，其特点是，在微型传感器内部设置微加热器和微温度敏感器，通过微加热器使微型传感器机械敏感芯片局部环境温度上升，达到预设温度点；微温度敏感器感测环境温度变化；温度点控制电路与微温度敏感器和微加热器相连，根据微温度敏感器的输出控制微加热器加热电流。微加热器和微温度敏感器为微米级尺度电子学部件，采用微电子机械系统加工工艺制备，与微传感器机械敏感芯片集成为一体化元件。本发明可提高微型传感器使用精度，用于具备高精度测量特性的微型传感器中，用于对温度不敏感的微型传感器中，用于具备快速启动特性的微型传感器中。

主权项

一种微型传感器用温度控制装置，其特征在于：所述的温度控制装置包括衬底基板、微加热器、微温度敏感器、温度点控制电路，微加热器、微温度敏感器与衬底基板连接，微加热器、微温度敏感器与温度点控制电路电连接。