探测器装置以及探测方法

摘要

本发明提供一种探测器装置以及探测方法，能够在使探测器与被检查体的电极片电气接触对该被检查体的电器特性进行测定，实现装置的小型化，并且将测试头合适地安装在探测器主体上。利用保持体保持测试头，使其从离开探测器主体的顶板的退缩位置旋转至水平位置，将该测试头交接至设置在探测器主体上的升降支撑机构上，利用该升降支撑机构使测试头下降，将探测器主体安装在测试头上。因为在测试头的旋转以及下降过程中不与探测器主体的部件干涉，所以能够可靠地将测试头安装在探测器主体上，因此能够将测试头的铰链机构搭载在探测器主体的上表面，从而实现装置的小型化。

主权项

一种探测器装置，该探测器装置将排列配置有多个被检查芯片的基板载置在移动自如的基板载置台上，使所述被检查芯片的电极片与探针卡的探测器接触来对被检查芯片进行检查，该探测器装置的特征在于，包括：检查装置主体，在内部具有所述基板载置台并且在顶板部设置有探针卡；测试头，从该探针卡的上方与所述探针卡的上表面接近并电气接触以进行信号的收发；旋转驱动部，用于使该测试头在所述探针卡的上方在该测试头的下表面成为水平的水平位置与从所述检查装置主体的顶板离开的退避位置之间沿着水平旋转轴的周围旋转；设置在所述旋转轴上并用于保持所述测试头的保持部；升降支撑机构，设置在所述检查装置主体上，从所述保持部接受处于所述水平位置的测试头并使该测试头下降至与探针卡电气接触的位置，并且使该测试头上升至所述水平位置并将其交接至保持部上；和保持/解除单元，用于设定测试头被保持在所述保持部上的保持状态以及解除该保持的解除状态的一方，当从所述保持部将测试头交接至所述升降支撑机构时成为解除状态，此外当从所述升降支撑机构将测试头交接至所述保持部上时成为保持状态。