发明名称 图像传感器及其形成方法
摘要 一种图像传感器及其形成方法,图像传感器包括:多个感光区,排列成阵列,形成于衬底上;具有第一折射率的第一介质层,形成于所述感光区上;由具有第二折射率的材料形成的多个微透镜,嵌入所述第一介质层内,具有上底面、下底面和凸面,上底面与所述第一介质层的表面齐平,下底面与第一介质层的底面齐平,凸面凸向第一介质层,每一个微透镜与对应的感光区中心对准,且第二折射率大于第一折射率。微透镜嵌入所述第一介质层内,微透镜的凸面使具有倾斜入射角的光线更多的汇聚到感光区,光线损失减少,入射到感光区上的光线增多,成像精确度增加,避免现有技术的图像传感器成像不精确的问题。
申请公布号 CN102130138A 申请公布日期 2011.07.20
申请号 CN201010022718.2 申请日期 2010.01.12
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 杨建平;黄河;霍介光
分类号 H01L27/146(2006.01)I;H01L27/148(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 李丽
主权项 一种图像传感器,其特征在于,包括:多个感光区,排列成阵列,形成于衬底上;具有第一折射率的第一介质层,形成于所述感光区上;由具有第二折射率的材料形成的多个微透镜,嵌入所述第一介质层内,所述微透镜具有水平的上底面、下底面和凸面,所述上底面与所述第一介质层的表面齐平,所述下底面与所述第一介质层的下底面齐平,所述凸面凸向第一介质层,每一个微透镜与对应的感光区中心对准,且第二折射率大于第一折射率。
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
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