发明名称 |
图像传感器及其形成方法 |
摘要 |
一种图像传感器及其形成方法,图像传感器包括:多个感光区,排列成阵列,形成于衬底上;具有第一折射率的第一介质层,形成于所述感光区上;由具有第二折射率的材料形成的多个微透镜,嵌入所述第一介质层内,具有上底面、下底面和凸面,上底面与所述第一介质层的表面齐平,下底面与第一介质层的底面齐平,凸面凸向第一介质层,每一个微透镜与对应的感光区中心对准,且第二折射率大于第一折射率。微透镜嵌入所述第一介质层内,微透镜的凸面使具有倾斜入射角的光线更多的汇聚到感光区,光线损失减少,入射到感光区上的光线增多,成像精确度增加,避免现有技术的图像传感器成像不精确的问题。 |
申请公布号 |
CN102130138A |
申请公布日期 |
2011.07.20 |
申请号 |
CN201010022718.2 |
申请日期 |
2010.01.12 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
杨建平;黄河;霍介光 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L27/148(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
李丽 |
主权项 |
一种图像传感器,其特征在于,包括:多个感光区,排列成阵列,形成于衬底上;具有第一折射率的第一介质层,形成于所述感光区上;由具有第二折射率的材料形成的多个微透镜,嵌入所述第一介质层内,所述微透镜具有水平的上底面、下底面和凸面,所述上底面与所述第一介质层的表面齐平,所述下底面与所述第一介质层的下底面齐平,所述凸面凸向第一介质层,每一个微透镜与对应的感光区中心对准,且第二折射率大于第一折射率。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江路18号 |