将金属初始层置换反应成CIGSS-太阳能电池的黄铜矿层的方法和装置

摘要

本发明涉及一种置换反应方法和一种置换反应装置，用于在RTP炉的反应室中以硫和/或硒将金属初始层(初始物质)置换反应成CIGSS-太阳能电池的黄铜矿层，特别是其目的在于制造薄层太阳能模件。特建议，将敷层以初始物质的基片以及对反应足够用量的硫和/或硒置入一个可密封封闭的反应箱中，其被设有至少一个在反应室外部可控制的排出阀，该反应箱本身被置入抽真空的RTP-炉反应室中，反应室中具有基片的反应箱被加热到规定温度并在该温度下保持一确定的处理时间，其中在处理时间期间测量并通过至少一排出阀调节反应箱内的压力。

主权项

一种置换反应方法，用于在一个RTP‑炉的反应室中以硫和/或硒将初始物质置换反应成CIGSS‑太阳能电池的黄铜矿层，所述的CIGSS为Cu(InxGa1‑x)(Sey，S1‑y)2，其中0≤x≤1且0≤y≤1，其特征在于：将敷层以初始物质的基片以及对反应足够用量的硫和/或硒置入到一个密封封闭的反应箱中，该反应箱至少设有一个在反应室外部能够控制的排出阀，该反应箱本身被放入在RTP‑炉的反应室中，该反应室被抽真空，将反应室中具有基片的反应箱加热到一个规定的温度并在这个温度上保持一个确定的处理时间，其中在该处理时间期间测量反应箱内的压力并通过至少一个排出阀调控它。