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一种散热装置之制备方法，包括以下步骤：提供一散热装置基体，其具有一表面；对该散热装置基体进行钝化处理，以于该表面上形成一钝化层；于无氧环境中去除该表面上之钝化层；于无氧环境中在表面上形成一催化剂层；采用化学气相沈积法于该催化剂层上生长奈米碳管，进而获取一散热装置。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，该散热装置基体之材质选自铜基及铝基材质。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，该散热装置基体包括一基座，及复数于该基座之一表面上形成并向外延伸之散热鳍片。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，该散热装置基体为一散热块。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，所述钝化处理包括步骤：将散热装置基体置于铬酸与磷酸之混合溶液中，于60~90摄氏度温度条件下浸泡10~30秒。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，所述钝化层之去除方法选自反应离子蚀刻、电浆蚀刻及湿法蚀刻法。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，所述催化剂层之形成方法选自蒸镀法及溅镀法。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，所述催化剂层之材质选自铁、钴、镍及其合金。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，所述催化剂层之厚度范围为20~50奈米。如申请专利范围第1项所述散热装置之制备方法，其中，进一步包括步骤：于奈米碳管之间填入导热粉体。如申请专利范围第11项所述散热装置之制备方法，其中，所述导热粉体选自银、氧化锌、氮化硼、氧化铝及其混合物。 |
