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发明名称 CONDITIONING TOOLS AND TECHNIQUES FOR CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION
摘要
申请公布号 EP2083967(B1) 申请公布日期 2011.07.06
申请号 EP20070814967 申请日期 2007.09.21
申请人 SAINT-GOBAIN ABRASIVES, INC.;SAINT-GOBAIN ABRASIFS 发明人 PUTHANANGADY, THOMAS;HWANG, TAEWOOK;RAMANATH, SRINIVASAN;SCHULZ, ERIC;BALDONI, J. GARY;BULJAN, SERGEJ-TOMISLAV;DINH-NGOC, CHARLES
分类号 B24B37/04;B24B53/12;B24D3/06 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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