脉冲I-V与脉冲C-V半导体参数自动测量装置和方法

摘要

本发明公开了一种脉冲I-V与脉冲C-V半导体参数自动测量装置，包括脉冲信号发生模块、电流转换模块、数据采集模块和计算机控制模块；还公开了脉冲I-V与脉冲C-V半导体参数自动测量方法，在计算机控制模块上设置各模块的参数，并初始化，计算机控制模块向脉冲信号发生模块发送测试指令，使其输出脉冲信号给待测器件，电流转换模块将待测器件的微电流放大，转换为电压信号后输出，数据采集模块将接收的信号转化成数字信号后传送给计算机控制模块；计算机控制模块保存、计算数据，在屏幕上显示波形曲线。本发明的装置造价便宜，测量方便快速，整个实验过程自动进行，数据自动处理并直接显示特性曲线，提高了测试效率。

主权项

一种脉冲I‑V与脉冲C‑V半导体参数自动测量装置，包括脉冲信号发生模块（2）、电流转换模块（3）、数据采集模块（4），其特征在于：还包括用GPIB接口分别和脉冲信号发生模块（2）、电流转换模块（3）、数据采集模块（4）相连接的计算机控制模块（1）；所述脉冲信号发生模块（2）产生脉冲周期、电压峰值、边沿上升时间和脉冲数量由计算机控制模块（1）设定的脉冲信号；所述电流转换模块（3）包括脉冲I‑V测试电流转换模块（31）与脉冲C‑V测试电流转换模块（32），将待测器件产生的微电流放大，并转换为电压信号；所述数据采集模块（4）包括模拟/数字转换装置，数据采集模块（4）的信号输入端分别连接脉冲信号发生模块（2）与电流转换模块（3）的信号输出端，其信号输出端连接计算机控制模块（1），将信号传送回计算机控制模块（1）；所述计算机控制模块（1）包括接收、保存数据的存储装置和用于显示I‑V或C‑V特性曲线的屏幕。