遮挡框及其制作方法

摘要

一种遮挡框，用以于光电半导体工艺中与加热板相嵌合而将玻璃基板固定，所述遮挡框包含有：铝质的框形本体；以及接触件，其设置于所述框形本体的框架，且所述接触件穿透所述框形本体的正反面与所述框形本体固着；其中，所述接触件包含有陶瓷块及铝材片，所述铝材片与所述陶瓷块固定在一起，且所述铝材片与铝质的所述框形本体焊接在一起，使得所述接触件与所述框形本体固着，而且所述陶瓷块上设有槽孔，所述遮挡框透过所述槽孔提供的陶瓷接触面与所述加热板相嵌合。所述遮挡框可解决异常微小颗粒散落在玻璃基板表面，造成产品良率降低的问题。

主权项

一种遮挡框，用于在光电半导体工艺中将玻璃基板固定，其中所述玻璃基板放置于加热板上，所述遮挡框与所述加热板相嵌合而将所述玻璃基板固定，其特征在于，所述遮挡框包含有：框形本体，其材质为铝；以及接触件，其设置于所述框形本体的框架，且所述接触件穿透所述框形本体的正反面与所述框形本体固着，所述遮挡框透过所述接触件与所述加热板相嵌合；其中，所述接触件包含有陶瓷块及铝材片，所述铝材片与所述陶瓷块固定在一起，且所述铝材片与铝质的所述框形本体焊接在一起，使得所述接触件与所述框形本体固着，而且所述陶瓷块上设有槽孔，所述遮挡框透过所述槽孔提供的陶瓷接触面与所述加热板相嵌合。