| 主权项 |
一种电流扫描器之控制方法，系依据指令信号与现在位置之偏差使用以摆动反射镜之致动器动作，来控制射入该反射镜之光之出射角，其特征在于具备以下步骤：在实际动作之前计测对应摆动角度之该致动器之增益变化的步骤；在实际动作之前记忆所计测之增益变化的步骤；及以消除在实际动作时藉由该记忆步骤所记忆之该增益变化之方式，来修正该致动器之操作量的步骤。一种电流扫描器，系依据指令信号与现在位置之偏差而使用以摆动反射镜之致动器动作，来控制射入该反射镜之光之出射角，其特征在于具备：计测机构，用以计测对应摆动角度之该致动器之增益变化；及记忆机构，用以记忆藉由该计测机构在实际动作之前所检测之增益变化；及修正机构，在实际动作时以将记忆于该记忆机构之增益变化消除之方式，来修正该致动器之操作量。一种雷射加工机，其特征在于：具备申请专利范围第2项之电流扫描器，藉由该电流扫描器来扫描雷射光束以对工件进行加工。 |
