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发明名称 PLASMA GENERATING APPARATUS AND PLASMA FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101045271(B1) 申请公布日期 2011.06.29
申请号 KR20097018549 申请日期 2008.03.28
申请人 发明人
分类号 H05H1/46;C23C16/505;H01L21/205;H01Q21/12 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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