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发明名称 SUBSTRATE TRANSFERRING UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS WITH THE SAME
摘要
申请公布号 KR101043712(B1) 申请公布日期 2011.06.24
申请号 KR20080119951 申请日期 2008.11.28
申请人 发明人
分类号 B65G39/04;B65G49/07;H01L21/68 主分类号 B65G39/04
代理机构 代理人
主权项
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