| 发明名称 | 化学液体供给设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种化学液体供给设备，用于供给半导体制程中所需的化学液体，其包括三个或更多的布置为排成一行的泵，各泵具有各不相同的吸入冲程和排出冲程的时间点，以便所述化学液体能够被均匀而没有脉动地供给。 | ||
| 申请公布号 | CN102105968A | 申请公布日期 | 2011.06.22 |
| 申请号 | CN200880130658.7 | 申请日期 | 2008.09.10 |
| 申请人 | 洗涪技科技有限公司 | 发明人 | 洪思文;金炯逸 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人 | 郑立;高为华 |
| 主权项 | 一种化学液体供给设备，包括三个或更多的布置为排成一行的泵，各所述泵具有各不相同的吸入冲程和排出冲程的时间点。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||