| 发明名称 | 太阳能PEG基回收切割液再利用方法及基于此方法得到的切割液 | ||
| 摘要 | 本发明涉及太阳能PEG基回收切割液再利用方法及基于此方法得到的太阳能切割液。该方法包括：向PEG基切割回收液中添加分散剂、阳离子表面活性剂、消泡剂、鳌合剂和金属腐蚀抑制剂。可以100％利用PEG基的切割回收液，提高其稳定性，更好的分散SiC，配置的砂浆具有很好的分散性和再分散性。 | ||
| 申请公布号 | CN102093929A | 申请公布日期 | 2011.06.15 |
| 申请号 | CN200910200317.9 | 申请日期 | 2009.12.11 |
| 申请人 | 安集微电子(上海)有限公司 | 发明人 | 于昊;宫勇;兰育辉 |
| 分类号 | C10M175/00(2006.01)I;C10M161/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)N | 主分类号 | C10M175/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人 | 李佳铭 |
| 主权项 | 一种太阳能PEG基回收切割液的再利用方法，其特征在于，所述方法包括：向PEG基切割回收液中添加分散剂、阳离子表面活性剂、消泡剂、鳌合剂和金属腐蚀抑制剂。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室 | ||