等离子显示屏前面板的制作方法

摘要

本发明公开了一种等离子显示屏前面板的制作方法，通过蒸镀完ITO膜层后直接蒸镀Cr/Cu/Cr层；通过一次曝光一次显影一次刻蚀得到具有ITO电极和Cr/Cu/Cr电极的图形；经过一次不同溶液的刻蚀完成电极制作过程，通过控制各个涂层的刻蚀速率达到和现有技术一样的技术效果。本发明的积极效果是：减少了4个工序，可以节约4个工序的设备和所使用的材料；同时实现了ITO电极和Cr/Cu/Cr电极的一次刻蚀，提高了工序良品率；采用一块母版解决了现有技术中使用两块母版引起的BUS电极曝光时和已经制作好的ITO电极进行对位的精度问题，减少了对位偏差引起的不良影响，使显示屏的显示质量得到了提高。

主权项

一种等离子显示屏前面板的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：1）蒸镀ITO膜：将前面板玻璃清洗后放入真空镀膜机中，使用靶材蒸镀得到130‑160nm厚度的ITO膜；2）蒸镀Cr、Cu、Cr层：将具有ITO膜层的前面板放入真空镀膜机中，在150～250℃下使用Cr靶材蒸镀底层Cr，得到厚度为0.04‑0.06μm厚度的薄膜层；然后使用Cu靶材蒸镀中间层Cu，得到厚度为2‑4μm厚度的薄膜层；再使用Cr靶材蒸镀上层Cr，得到厚度为0.1μm的薄膜层；3）Pr感光胶涂敷、曝光、显影：将具有ITO膜和Cr/Cu/Cr膜四层涂层的前面板在0.1‑0.2Mpa的压力下涂敷Pr感光胶，在70‑80℃的炉温下进行干燥，得到厚度为5‑20μm的连续的Pr胶层；在曝光机内通过母版对玻璃基板上的Pr胶层进行曝光，曝光量为60‑150mJ/cm2、曝光间隙为250‑400μm；然后在浓度为0.4%、温度为25‑35℃的Na2CO3溶液下、在0.6‑0.8Kg/cm2的压力下进行显影，显影后经过水洗、再经过UV固化，得到具有Pr胶的图形；4）刻蚀：先使用浓度为14wt%、温度为35℃的HCl刻蚀液对上层Cr进行刻蚀，接着使用浓度为3.9wt%、温度为30℃的FeCl3刻蚀液对中间层Cu进行刻蚀，然后使用浓度为4wt%的KMnO4和浓度为6wt%的Na2SiO3、温度为40℃的刻蚀液对下层Cr进行刻蚀，最后使用浓度为18wt%的HCl和浓度为11wt%的FeCl3、温度为45℃的刻蚀液对ITO层进行刻蚀；最后使用浓度为12‑14wt%、温度为40℃的NaOH剥膜液剥掉Pr胶层，同时得到ITO电极和BUS电极；5）涂敷介质层：刻蚀完毕的前面板经过清洗，在上面涂敷50μm厚度的前介质浆料，在150℃的温度下保温20‑30min进行干燥，然后在600‑620℃的烧结温度下进行烧结，烧结后得到第一层介质；再在烧结后的第一层介质上涂敷50μm厚度的前介质浆料，在150℃的温度下保温20‑30min进行干燥，最后在550‑570℃下进行烧结，从而得到满足厚度要求的透明介质层；6）蒸镀MgO层：将经过清洗的前面板玻璃放入MgO镀膜机真空室中，在220‑250℃的温度下蒸镀MgO层，得到满足厚度要求的MgO层；蒸镀完毕后二次喷涂MgO，得到满足覆盖率要求的二次MgO层。