发明名称 |
显影装置 |
摘要 |
一种显影装置,包括显影液注入器、传感器。显影液注入器用于容纳并滴出显影液。传感器设于所述显影液注入器上的预定位置,并与显影液注入器内所容纳显影液非接触。该显影装置通过在显影液注入器上设置与显影液非接触的传感器来监测显影液注入器内的显影液的剩余量,从而避免了利用浮动传感器监控液面而带来的浮动传感器损坏引起显影装置故障的问题,提升了显影装置的耐用性。 |
申请公布号 |
CN102096342A |
申请公布日期 |
2011.06.15 |
申请号 |
CN200910231697.2 |
申请日期 |
2009.12.09 |
申请人 |
无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 |
发明人 |
张万来;李长江 |
分类号 |
G03F7/30(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/30(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种显影装置,包括:显影液注入器,用于容纳并滴出显影液;传感器,设于所述显影液注入器上的预定位置,并与所述显影液注入器内所容纳显影液非接触。 |
地址 |
214061 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 |