电浆处理环境下测量电浆特性的感测器阵列

主权项

一种于电浆处理系统中测量电浆边界特性的方法，其包括：a)提供一具有电浆腔室的电浆处理系统；b)提供一感测器阵列，其包括复数个被置放于该电浆腔室内的感测器；c)于该电浆腔室内产生电浆供电浆处理使用；以及d)利用该感测器阵列来测量该电浆的边界特性。如申请专利范围第1项之方法，其中该等感测器系双浮动Langmuir探针。如申请专利范围第1项之方法，其中该感测器阵列系沿着该电浆腔室内含的腔室衬里来置放。如申请专利范围第1项之方法，其中该感测器阵列系沿着该电浆腔室内含的介电隔绝环来置放。如申请专利范围第1项之方法，其中该感测器阵列系被置放于该电浆腔室内含的工件夹盘的附近。如申请专利范围第1项之方法，其中即时地测量该电浆的边界特性。如申请专利范围第1项之方法，其中利用测得的电浆边界特性来计算该电浆的整体特性。如申请专利范围第1项之方法，其中测得的电浆边界特性会被提供给一用来控制该电浆处理的处理系统控制器。如申请专利范围第1项之方法，其中动态地提供脉冲给该等复数个感测器，用以测量该电浆的边界特性。如申请专利范围第9项之方法，其中利用一脉冲式功率来产生电浆，而且该等复数个感测器的动态脉冲与该脉冲式功率的脉冲同步。一种电浆处理系统，其包括：a)一电浆腔室，可于其中产生处理电浆；b)一感测器阵列，其包括复数个被置放于该电浆腔室内的感测器；c)一刺激电路，用以刺激该等复数个感测器来测量该处理电浆的边界特性。如申请专利范围第11项之系统，其中该等感测器系双浮动Langmuir探针。如申请专利范围第11项之系统，其中该感测器阵列系沿着该电浆腔室内含的腔室衬里来置放。如申请专利范围第11项之系统，其中该感测器阵列系沿着该电浆腔室内含的介电隔绝环来置放。如申请专利范围第11项之系统，其中该感测器阵列系被置放于该电浆腔室内含的工件夹盘的附近。如申请专利范围第11项之系统，其中用来刺激该等复数个感测器的电路系一动态脉冲电路。如申请专利范围第11项之系统，其中用来刺激该等复数个感测器的电路系一多工电路。如申请专利范围第11项之系统，其进一步包括一电路，其用以将测得的电浆边界特性记录与通信送至一处理系统控制器。